机械科学与工程发展论坛----清华大学朱煜教授“IC制造技术发展趋势与研究进展”学术报告的通知

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365bet官网:2010年1月13日下午2:45

地点:玉泉永谦B座二楼报告厅

学术报告提纲:

从半导体技术基本原理入手,先容集成电路芯片制造和封装技术、工艺流程与关键装备。根据国际IC制造技术的发展趋势,先容IC制造面临的挑战与发展方向。围绕IC制造最核心装备——光刻机,先容清华大学在光刻机超精密工件台研究方向的最新进展。

学术专家先容:
朱煜,工学博士,清华大学精仪系制造工程研究所教授、博士生导师。家光刻设备工程技术研究中心清华大学精密机械与测控研究基地主任。“十五”863 IC装备重大专项专家组成员,国家中长期重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”(02专项)专家组副组长。主要研究方向为IC装备、超精密机械与精密运动控制、双光子三维微纳结构加工技术、并联机构与理论等;承担国家科技重大专项、973863、国家自然科学基金等国家级科研项目20余项;发表论文100余篇,SCI、EI、ISTP检索50余篇,被国内外引用190余次;申请/授权国家发明专利36项,美国专利2项。
 
 
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