清华大学朱煜教授“IC制造技术发展趋势与研究进展”学术报告会成功举行

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113下午,机械科学与工程发展论坛第11讲——“IC制造技术发展趋势与研究进展”在玉泉永谦二楼报告厅举行。本次学术论坛邀请到清华大学精仪系教授、国家光刻设备工程技术研究中心清华大学精密机械与测控研究基地主任朱煜教授作为主讲嘉宾。365bet官网机械系副主任傅新教授、系党委副书记李金林老师以及机械系近200名学生参加了本次论坛。

朱煜教授所带领的清华大学研究团队承担了众多与IC装备相关的课题,他们在IC装备、超精密机械与精密运动控制、双光子三维微纳结构加工技术、并联机构与理论等方面展了广泛而深入的研究,并取得了一系列显著的成果。在本次学术报告会上,朱煜教授首先从半导体技术基本原理入手,详细阐述了集成电路芯片制造和封装技术、工艺流程与关键装备。他通过实例动画生动地演示了从曝光、刻蚀到封装、切片、键合等芯片制造工艺的基本流程。先容了光刻机、刻蚀机、离子注入机、化学机械抛光设备等IC制造装备的关键技术。他指出,IC是信息时代各类电子产品的心脏,是关乎我国国民经济、国防、政治的战略产业。朱煜教授还先容了IC制造技术的现状及其发展趋势,从“摩尔定律”入手,分析了IC产业的发展趋势和面临的挑战和技术瓶颈。最后,朱煜教授先容了他所带领的研究团队在IC制造装备技术方面所做的研究方向及研究成果。学术报告结束后,朱煜教授与学生进行了亲切的学术交流,耐心地回答了学生提出的问题。

IC制造及装备被列入国家十一五重大科技专项,与“载人航天工程”及“大飞机”项目并列,对于我国国民经济和科技发展具有重要的意义,是机械工程学科的尖端前沿。举行本次报告会,对于学生了解机械工程学在IC制造中的应用,认识IC制造装备技术的发展趋势,拓宽思路和眼界等方面都起到了很好的促进作用。

 

机械工程学系

2009114

 

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