付新

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职称职务:教授 博导 教授委员会主任
所在部门:机械电子控制工程研究所
办公室:
电 话:87951271-8207, 87953040
E-Mail:xfu@sfp.zju.edu.cn
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研究方向

流体检测与计量、流体空化及噪声控制、微纳制造技术、应用流体力学

基本先容

365bet官网机械工程系教授,奥地利莱奥本大学博士。主要研究方向:流体检测与计量、流体空化及噪声控制、微纳制造技术、应用流体力学。作为负责人承担国家自然科学基金项目3项、国家973计划课题1项、国家863计划课题2项、科技攻关与支撑计划课题2项、国际合作重点项目2项。获国家及省部级科技奖励6项。获发明专利45项。发表学术论文200余篇,SCI/EI检索论文100余篇。

学习经历

1996-1999, 奥地利莱奥本大学机械工程系, 获博士学位。 1997-1990,西南大学农业机械系,获硕士学位。 1978-1982,四川大学机械工程系,获学士学位。 

工作经历

2009-, 365bet官网机械工程系教授,系副主任。 2005-2009, 365bet官网机械工程系教授,流体动力及机电系统国家重点实验室主任。 1991-1996, 西南大学农业机械系副教授。 1982-1991, 西南大学农业机械系助教,讲师。

主要科研项目

1) 65nm浸液供给试验装置,上海微电子装备有限企业 

2)时变大流量电液伺服系统的介质流动规律,国家973计划课题(2006CB705405) 

3)IC装备中流体检测与控制单元技术的研究,国际合作重点项目(2008DFR70410) 

4) 浸没流场及纳米气泡对45纳米光刻分辩率的影响,国家自然科学基金‘纳米制造的基础研究’重大研究计划培育项目(91023015)

代表性论文

1) Xin Fu, Sufen Liu, Xiaodong Ruan, Huayong Yang,

 Research on staggered oriented ridges static 

micromixers, Sensors and Actuators B, 114 (2006) : 618-624

2) X. Fu, L. Hu, J. Zou, H. Y. Yang, X. D. Ruan, 

C. Y. Wang, Divisionally analytical reconstruction of the magnetic

 field around an electromagnetic velocity probe, Sensors

 and Actuators A,2009.03,Vol. 150,No.1,12–23

3) X. Fu, L. Hu, K. M. Lee, H. Y. Yang, Dry calibration 

of electromagnetic flowmeters based on numerical models

 combining multiple physical phenomena (multiphysics), Journal

 of Applied Physics, 2010.10, Vol.108, Issue 8, 108, 083908

4) Peng JG, Fu X, Chen Y, Response of a swirlmeter to oscillatory

flow, Flow Measurement and Instrumentation, 2008.4, 19 (2): 107-115

5) Wenyu Chen, Ying Chen, Jun Zou, Xin Fu, Huayong Yang,

 Xiaodong Ruan, Guofang Gong, Effect of liquid dispensing

 on flow field for immersion lithography, Journal of Vacuum

 Science & Technology (B), 2009.9,Vol.27, No.5. 1071-1023

6) L Hu, J Zou, X Fu, H Y Yang, X D Ruan and C Y Wang,

 A reconstruction approach to determine the magnetic 

field around an electromagnetic velocity probe,

 Measurement Science and Technology, 20(2009)015103(7pp)

7) L. Hu, J. Zou, X. Fu, H. Y. Yang, X. D. Ruan, C. Y. Wang,

 Divisionally analytical solutions of Laplace’s equations 

for dry calibration of electromagnetic velocity probes,

 Applied Mathematical Modelling, 2009.07, Vol 33, No.7, 3130-3150

8) L. Hu, K.-M. Lee, and X. Fu, A Generalized Method 

for Reconstructing the Magnetic Field Distribution of 

an Electromagnetic Mechatronic System, IEEE/ASME Trans.

 on Mechatronics, 2009.2030795

9) Huang S, Ruan XD, Zou J, Fu X, Yang HY, Thermal 

conductivity measurement of submicrometer-scale 

silicon dioxide films by an extended micro-Raman method,

 Microsystem Technologies, 2009.6, 15(6): 837-842

10) Huang S, Ruan XD, Zou J, Fu X, Yang HY,

 Raman Scattering Characterization of Transparent 

Thin Film for Thermal Conductivity Measurement,

 Journal of Thermophysics and Heat Transfer, 2009, 23(3): 616-621

11) L. Hu, K.-M. Lee, X. Fu, A method based on 

measured boundary conditions for reconstructing 

the magnetic field distribution of an electromagnetic

 mechatronic system, IEEE/ASME Trans. on Mechatronics, 

2010.8, Vol.15. No. 4, 595-602

12) Liang Hu, Kok-Meng Lee, Jun Zou, Xin Fu, 

Hua-Yong Yang, Adaptive measurement for automated

 field reconstruction and calibration of magnetic 

systems, IEEE Transactions on Automation Science 

and Engineering, 2010.11, Volume.PP, Issue 99, 1- 11

13) L. Hu, J. Zou, X. Fu, X. D. Ruan, C. Y. Wang,

 Analytical calculation of the measuring error of an

 electromagnetic velocity probe caused by a side channel wall, 

Flow Measurement and Instrumentation, 2010.10, 

Volume.21, Issue 4, 435-442

14) Fei Li, Weiting Liu, Cesare Stefanini, Xin Fu,

 Paolo Dario, A Novel Bioinspired PVDF Micro/Nano Hair

 Receptor for a Robot Sensing System, Sensors, 2010,

 Vol.10, NO.1, 994-1011

15) Jian Kang, Xin Fu, and Weiting Liu, Paolo Dario, 

Investigation on Microheat Pipe Array with Arteries, 

Journal of Thermophysics and Heat Transfer, DOI: 10.2514/1.49913

16) Chen WY, Fu X, Zou J, Yang HY, Ruan XD, Gong GF, 

Investigation on the critical velocity for liquid loss 

in immersion lithography, Microelectronic Engineering, 

2010, 87(5-8), 1070-1073

17) Chen H, Fu X, Zou J, Yang HY, Ruan XD, Gong GF,

 Modeling fluid velocity response for wafer 

scanning in immersion lithography, Microelectronic

 Engineering, 2010, 87(5-8), 1082-1085

18) J Zou, X Fu, X D Ruan, et al, A mobile contactless

 temperature-measuring device for laminar cooling

 process of hot strips, Experimental Techniques, 

2010, Vol.34, No.1, 63-69

19) Jun Zou, Peng Fei Wang, Ting Rong Zhang, 

Xin Fu, and Xiaodong Ruan, Experimental study of a

 drop bouncing on a liquid surface, Physics

 of Fluids, 2011.4, Vol.23, 044101

20) L.J. Wang, L. Hu, Z.C. Zhu, P. Ye, X. Fu, Analytical

 calculation of sensitivity for Coriolis mass

 flowmeter, Measurement, 44 (2011) , 1117–1127